∙ 2023년 6월 21일, 일본 특허조사·분석 전문업체인 ‘Patent Result’는 2022년 반도체 제조 장치의 특허 심사 과정에서 타사 특허에 거절이유로 인용된 특허의 건수를 기업별로 집계한 ‘반도체 제조 장치 타사 견제력 순위 2022(半導体製造装置他社牽制力ランキング2022)’를 발표함

- (개요) 동 순위는 특허심사 과정에서 타사 특허에 거절이유로 인용된 건수를 ‘타사 견제력(他社牽制力)’으로 평가한 순위로 일본 특허청(JPO)에 특허출원 되어 2022년 12월까지 공개된 모든 특허 중 2022년 1월부터 12월까지의 기간에 거절이유(거절이유 통지 또는 거절 결정)로 인용된 특허를 조사하여 평가함
  ∙ 동 순위는 경쟁사가 기술개발 과정에서 권리화 진행을 어렵게 하는 선행기술을 다수 보유하고 있는 선진적인 기업을 밝혀준다는 점에서 의의가 있음

- (주요내용) 동 순위의 주요내용은 다음과 같음

                     ‘반도체 제조 장치 업계 타사 견제력 순위 2022’ Top 5

순위	기업명	특허건수(건)
1	도쿄 일렉트론(東京エレクトロン)	955
2	SCREEN 홀딩스(SCREEN ホールディングス)	490
3	APPLIED MATERIALS	314
4	디스코(ディスコ)	267
5	ULVAC(アルバック)	184

  ∙ 1위인 도쿄 일렉트론의 특허 중 가장 많이 인용된 것은 ‘기판 처리 장치의 수리나 보수·점검 시 작업자에게 유용한 정보(지원 정보)를 제공하기 위한 지원 정보 표시 방법’에 관한 기술이며, 도쿄 일렉트론의 특허에 의해 거절결정 등의 영향을 받은 건수가 가장 많은 기업은 SCREEN 홀딩스(93건), APPLIED MATERIALS (85건)임
  ∙ 2위인 SCREEN 홀딩스의 특허 중 가장 많이 인용된 것은 ‘시트 필름 등의 피처리체(被処理体)의 핸들링’에 관한 기술이며 SCREEN 홀딩스의 특허에 의해 거절결정 등의 영향을 받은 건수가 가장 많은 기업은 도쿄 일렉트론(75건), 디스코(44건)임
  ∙ 3위인 APPLIED MATERIALS 특허 중 가장 많이 인용된 것은 ‘정전척 어셈블리(静電チャックアセンブリ)’에 관한 기술이며  APPLIED MATERIALS의 특허에 의해 거절결정 등의 영향을 받은 건수가 가장 많은 기업은 도쿄 일렉트론(43건), LAM RESEARCH(23건)임